～已出展“SEMICON Japan 2015”～

    日本精工株式會社（總部：東京都品川區，取締役代表執行役社長（zhǎng）內山俊弘，以下簡（jiǎn）稱NSK)），已於12月16日（星（xīng）期三）～12月18日（星期五）出展了在Tokyo Big Sight（東京都江東（dōng）區有明）舉辦的“SEMICON Japan 2015”展會。

本次展（zhǎn）會，NSK展（zhǎn）出了新開發（fā）的高精度垂直軸（zhóu）平台，該產品可（kě）滿足下一代半導體的製造裝置要求。同時，也一並展出市場中廣（guǎng）受好評的氣浮導軌和真（zhēn）空環境下使用的定位平（píng）台。 

       隨著智能（néng）手機與平板電腦（nǎo）等終端電子（zǐ）零部件小型化、細微化、三維化的發展趨勢，生（shēng）產（chǎn）設備也（yě）在向高性能化方向發（fā）展，因此，市（shì）場對設備中使用的（de）定位平台提出了高性能、高精度的要求。

迄今，NSK已成功開（kāi）發出定位平台高性能化（huà）所需要的關鍵零（líng）部（bù）件。

 ·         “高速·靜音&靜音Ⅱ滾（gǔn）珠絲杠”、“高性能滾珠絲杠”、“帶L1密封圈的（de）滾珠絲杠”

    ·         NSK直線導軌^TM“NH係（xì）列（liè）”“NS係列”

    ·         高性能標準軸承“NSKHPS”

    ·         垂直導向采用空氣軸承，可達到±0.1μm以下的平直度重複精度^*1

    ·         采（cǎi）用新開（kāi）發的自重減輕結構（gòu），可實現驅動馬達小型化（50%以下）

    ·         可達到與ISO規格中最高等級1級相當的清潔度^*2

    ·         采用楔形結構，可（kě）實現垂直（zhí）方向的高精度定位

              *1：0.1μm = 1/10000mm

             *2：所謂ISO 等級1級是指每立方米（mǐ）中0.1μm的粒子數量小於10個

今後，NSK將針對各種需求不斷提供相應的解決方案，並進（jìn）一步對環保型產業機械領域的發（fā）展作出貢獻。