菲涅（niè）爾反射鏡 超精密加（jiā）工器件

菲涅（niè）爾反射鏡 超精密加工器件 目前（qián）公司已經形成下述生產加工能力： 超精密加（jiā）工 實現了納（nà）米級機械加工，其加工設備的定位分辨力達0.034nm。適（shì）於（yú）加工球（qiú）麵、非球（qiú）麵、菲涅爾反射鏡（jìng）、天（tiān）體望遠（yuǎn）係統反射鏡和多麵棱鏡等各種超精密元件以及各種透鏡的納米級表麵（miàn）注塑模具。 自由曲麵加工 實現了自由曲麵的超精密加工，成功開發出（chū）複眼反射鏡、螺（luó）旋反射鏡、非球麵透鏡陣列、正弦曲麵陣列、微棱反射鏡等典型光（guāng）學（xué）自由（yóu）曲麵（miàn）元件，並具備（bèi）相（xiàng）應的生產能力（lì）。 脆性材料加工 實現了硬（yìng）脆材料如玻（bō）璃、陶瓷（cí）、剛玉、硬質（zhì）合金、鐵氧體等的複（fù）雜曲麵精密加工，可（kě）達到傳統加工方法難（nán）以滿足的工件技術要求，表（biǎo）麵粗糙度可達0.2μm。 聚焦離子束（FIB）加（jiā）工 同步實現FIB加工和（hé）SEM（掃描電鏡）測量，具備納米加工-納米原型設計-2D/3D納米（mǐ）表征-納米分（fèn）析（包括：3維重構、STEM分析、能譜分析等）能力,實現微/納米元件（如三（sān）維微/納（nà）結（jié）構、微刀具、碳納米管器件等（děng））的製備和性能檢測（cè）。 微注塑成型加（jiā）工 利用自（zì）主開（kāi）發（fā）的微型模（mó）具，在精密注（zhù）塑機上進行高精度、複雜形狀元件（如（rú）：球麵及非球麵透鏡、自由曲麵光學元件、高深寬比微納器件、微納結構陣列等）的微注（zhù）塑成型，可應用於光學領域微納核心關鍵件的成品製造。 微納測量 具備表麵輪廓、形貌、粗糙度測量與（yǔ）分析的能力，可對表麵起伏大、包含陡峭邊沿（傾斜角度可達（dá）90°）的（de）非球麵（miàn）光（guāng）學鏡麵及模具實（shí）現（xiàn）全自動、高精（jīng）度的測量（liàng）和分析。 利（lì）用（yòng）以上的研發、生產與加工服務能力，客戶已由國內企業、科研院所、大專院校拓展（zhǎn）到美、日、德等微納製造技術發達地區。