一流的 高真空擴散泵

擴散（sàn）泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻係統（tǒng）和噴射噴嘴（zuǐ）等部分組成（見圖）。當油擴散泵用前級泵預抽到低於1帕真空時，油（yóu）鍋可（kě）開始加熱，沸騰時噴嘴（zuǐ）噴出高速的（de）蒸汽流，熱運動的（de）氣體（tǐ）分子（zǐ）擴散到蒸汽流中，與定向運動的油蒸汽（qì）分子碰撞，氣體分子因此（cǐ）而獲得動力量，產（chǎn）生和油蒸汽分子運動方向相同的定向流動，到前級，油蒸（zhēng）汽被（bèi）冷凝，釋出氣體（tǐ）分子，即（jí）被前級泵抽走而達（dá）到抽氣目的。泵油的蒸氣壓直接影（yǐng）響泵的真空性能，但油擴散泵所使用的任何泵油，都（dōu）是蒸汽壓不同的多組分（fèn）的混合物。因此，要（yào）提高油擴（kuò）散泵（bèng）的（de）抽氣和真空性能，泵在工作中自身（shēn）還要對泵油進（jìn）行分餾和淨化。分餾目的是使（shǐ）高蒸汽壓組分的油不進入高真空（kōng）工作噴嘴（高真空端的噴（pēn）嘴）；淨化的是使高蒸汽壓組分的油在（zài）工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐漸於純淨。