優質 的高真空擴散泵

擴（kuò）散泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽導管、油鍋、加熱器、擴（kuò）散器、冷卻係統和噴（pēn）射（shè）噴（pēn）嘴等部（bù）分組成（見圖）。當油擴散泵（bèng）用前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋可開始加熱，沸騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流（liú），熱運動的氣體分子（zǐ）擴散到蒸汽（qì）流中，與定向運動的（de）油蒸汽（qì）分（fèn）子（zǐ）碰撞，氣體分子（zǐ）因此而獲得動力量，產生和油蒸汽（qì）分子運動方（fāng）向相同的定向流動，到前級，油蒸（zhēng）汽被冷凝，釋出氣體（tǐ）分子，即被前級泵抽走而達到（dào）抽氣目（mù）的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真（zhēn）空性能，但油擴散（sàn）泵所使用的任何（hé）泵（bèng）油，都是蒸汽壓不同的（de）多組分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真（zhēn）空（kōng）性能，泵在工作（zuò）中自身還要對泵油進行分餾和淨化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的（de）油（yóu）不進（jìn）入高真空（kōng）工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；淨化的是使（shǐ）高蒸汽壓組分的油在工作過程中不斷（duàn）為前級泵所抽除、使油逐漸於純淨。