優質（zhì）的（de）高（gāo）真空擴散泵

擴散泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽導管、油鍋、加熱器、擴散器（qì）、冷卻係統和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當油擴散泵用前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋可開始加熱，沸騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流，熱運（yùn）動的氣體（tǐ）分（fèn）子擴散到蒸汽（qì）流中，與定向運（yùn）動的油蒸汽分子碰撞，氣體分子因（yīn）此而（ér）獲得動力量，產生和油蒸汽分子運動方向相同的定向流動，到前級，油蒸汽被冷（lěng）凝，釋出（chū）氣體分子，即被前級泵抽走而達（dá）到抽（chōu）氣目（mù）的。泵油的（de）蒸氣壓直接影響泵（bèng）的真空性能，但油擴散泵（bèng）所使用的任何泵油，都是蒸汽壓不（bú）同的多組分的混合物。因此，要提（tí）高（gāo）油擴散泵的抽氣和真空性能，泵（bèng）在工作中自身還（hái）要對泵（bèng）油進行分（fèn）餾和淨化。分餾（liú）目的是使高蒸汽壓（yā）組分的油不（bú）進入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；淨化的是使高蒸汽壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐（zhú）漸於純淨。