先進的高真空擴散泵

擴（kuò）散泵主（zhǔ）要泵體、擴散噴嘴、蒸汽導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻係統和（hé）噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當油擴散泵用（yòng）前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋可開始加熱，沸騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流，熱（rè）運動（dòng）的氣體分子擴（kuò）散到蒸汽流中，與定向運（yùn）動（dòng）的油蒸汽（qì）分子碰撞，氣體（tǐ）分子因此而獲得動力量，產生和油蒸汽分子運動（dòng）方向相同的定向流動，到前級，油蒸汽被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽氣目的。泵油的蒸氣壓直接影響（xiǎng）泵的真空性能，但油擴散泵所使用的（de）任何泵油，都是蒸汽（qì）壓不同的多組分的混合物。因此，要提（tí）高油擴（kuò）散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還（hái）要對泵油進行分餾和淨化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油不進入（rù）高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；淨化的是使（shǐ）高（gāo）蒸汽壓（yā）組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐漸（jiàn）於（yú）純（chún）淨。