國產激光幹涉（shè）儀

 激光具有高（gāo）強度、高度（dù）方向性、空間同調性、窄（zhǎi）帶寬和高（gāo）度單色性等優點，激光幹涉儀，則是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜幹涉係統測量位移的通用長度測（cè）量。激光幹涉儀是激光在計量（liàng）領（lǐng）域中最成功的應用之一。

國產激光幹涉儀（yí）（SJ6000）采用（yòng）進口高穩定氦氖激（jī）光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鍾)、高精度(0.05ppm)、抗幹擾能力強、長期穩定性好（hǎo）的激光輸（shū）出；采用高精度環境補償模塊、高精（jīng）度激（jī）光幹涉信號處理係統、高性能計算機控製係統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角（jiǎo）度、直線度（平行度（dù））、平（píng）麵度、垂直度、回轉軸等參數的測量，並進行動態分析。

國（guó）產激光幹涉儀（SJ6000）工作原理：
激光幹涉儀發射單一（yī）頻率光束射入線性幹涉鏡，然後分成兩道光束（shù），一道光束（參考光束）射（shè）向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光（guāng）束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射（shè）鏡，這（zhè）兩道（dào）光束再（zài）反射（shè）回到分光鏡，重新匯聚（jù）之後返回（huí）激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的幹涉（見（jiàn）圖）。若光程差沒有變（biàn）化時（shí），探測（cè）器會在相長性（xìng）和（hé）相（xiàng）消（xiāo）性幹涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在（zài）每一次光程變化時，在（zài）相長性和相消性幹涉的兩極之間（jiān）找到變化信號，這些變化會（huì）被計算（suàn）並用來測量兩個光程之間的差異變化。



國產激光幹涉儀（SJ6000）技術參數：

      係統性能

²    測量方式：單頻（pín）

²    穩頻精度：0.05ppm

²    動態采集頻率：50 kHz

²    預熱時間：約6分鍾

²    工作溫度範圍：(0~40)℃

²    環境溫度範圍：(0~40)℃，環（huán）境濕度（dù）：(0~95)%RH

²    存（cún）儲溫度範圍：(-20~70)℃

      環境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量最大（dà）速度：4m/s

      角度（dù）測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量範圍：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量分辨力：0.1″

      平麵（miàn）度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量（liàng）範圍：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位（wèi）：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板（bǎn）尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

      直線（xiàn）度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量範圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸（zhóu）向量程：(0.1~3.0)m

測量範圍：±3mm

²    測（cè）量精（jīng）度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨（biàn）力：0.01μm/m

      回轉軸精度測量

²    角度測量範圍（wéi）：(0~360)°

²    測量精度：±1″

最高轉（zhuǎn）速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳（chuán）輸數據。