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納米孔陣列 微納（nà）加工
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- 天津微納製造技術有限公（gōng）司
- 2013-08-05 15:57:22.0
- 全國
- 無
- 0
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【詳（xiáng）細說明】
聚焦（jiāo）離子束（FIB）加工
同步實現FIB加工和SEM（掃描電鏡）測量，具（jù）備納米加工-納米原型設計-2D/3D納米（mǐ）表征-納（nà）米分析（包括（kuò）：3維重構、STEM分析、能譜分（fèn）析等）能力,實現（xiàn）微/納米元件（如三維微/納（nà）結構、微刀具、碳納米管器件等）的製備（bèi）和性（xìng）能檢測。