---------------------- 關於環境因素 ----------------------

影響（xiǎng）激光幹涉（shè）儀測量精度的環境因素主要指：

1、    當前測量環境（jìng）下的空氣（qì）溫度、濕度、大氣壓力（lì），影響在空氣中傳播的激光波長。

2、    被測工件溫度，影響被測對象的熱膨脹量。本文不（bú）做分析，將在下篇細述。

-------------------- 關於（yú）激光幹涉儀 --------------------

　　激光幹（gàn）涉儀有（yǒu）單（dān）頻激光幹涉儀和雙頻激光幹涉儀，二（èr）者都是采用外差幹涉原理，而區別在於計算公（gōng）式，如下所示：

單頻激光幹涉儀，線性測量的計算公式：L＝Nλ／2，其中L為位移，N為幹涉條紋數（shù）目（mù），λ為（wéi）激光波長。

雙頻激光幹涉儀，線性測量的計算公式（shì）：

其中L為位移，t為時間，△f為由於運動（dòng）而引起的頻移，λ為激光波長（zhǎng）。

------------------ 激光波長影響分析 ------------------

結合激光幹涉（shè）儀兩個線性測量的公式同時進行分析：

1、  單頻激光幹涉儀，若移動半個激光波長，光電探測器將采集到明暗變化1次（cì），幹涉條紋數目則N＋1，該項幾乎不會引入誤差。而雙頻激光幹涉儀，△f在時間（jiān）上（shàng）積分的結果（guǒ）相當於N，同樣也幾乎不會引入誤（wù）差。

2、  兩個公式都含有激（jī）光（guāng）波長λ，而λ的精度直接取決於波長的穩定度（dù），通常要（yào）高於線性測量精度指標一個量級，即≤0.05ppm。所以在標準空氣參數的環境條件下，理論上L的線性測量精度也應該為0.05ppm，然（rán）而通過Edlen公式可以獲知激光（guāng）波長λ會受到（dào）環境因素的（de）影響，參見表（biǎo）1，所以實際應用中L的（de）線性測量精度標為0.5ppm不無道（dào）理。

表1  激光波長（zhǎng）穩（wěn）定度（dù）和環境因素對波長的影響

綜上，對環（huán）境因素進（jìn）行綜（zōng）合考量，最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差。

所以（yǐ），暫且可（kě）以得出下麵的結論：

1、 激光幹涉儀線性測（cè）量（liàng）精度主（zhǔ）要取決於激光波長穩定（dìng）度和環境（jìng）因素；

2、 單頻激（jī）光幹涉儀和雙頻激光幹涉儀在線性測量精度上並無本質區別；

3、 若（ruò）不考慮被測（cè）對象因素的影響，激光（guāng）幹涉儀在線性測量過程中，誤差主要來源是由環（huán）境因素導致（zhì）的。

------------------ EC20環境補償單元 ------------------

　　中圖儀器SJ6000激光幹涉儀配備的EC20環境補償單元，由（yóu）環境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣（qì）溫度傳感器和3個材（cái）料溫度傳感器組成，可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時（shí）高精度檢測。

　　EC20環境補償（cháng）單元在出廠前，會依照相關計量（liàng）標準對各環境參（cān）量進（jìn）行（háng）精確校準，通常（cháng）情況下（xià）建議（yì）24個月校準一次。

　　在使用EC20環境補償單元過程中，在不（bú）影響測量光路和被測物體運動的前（qián）提下（xià），建議將環境補償主機和空氣溫度探頭就近於測量光路中間處放置。至於材料（liào）溫度探（tàn）頭該如（rú）何布置或應用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象，小編將（jiāng）會作為激光幹涉儀的測量（liàng）關鍵點進行細述，欲知詳情，關注“中圖儀器”微信公眾（zhòng）號，且（qiě）聽下回分解 。