高精密直驅平台廣泛應用於（yú）半導體晶圓（yuán）檢測、微電子組件測試取放、DNA測序、激光加（jiā）工等領域，定位精度要求高，線性位移100mm行程範圍內定位（wèi）誤差要求≤1μm。人類（lèi）頭發直徑約70μm，就是要比人類頭發直徑的70分之1還要小，如此高（gāo）定位精度的平台測量和校準普（pǔ）通（tōng）檢測設備根本無法做（zuò）到。

中圖儀器SJ6000激光幹涉（shè）儀為（wéi）客戶直驅平台定位（wèi）精度的測量和驗證提供了（le）良（liáng）好的解決方案，精度達到納米級，在穩定的實驗條件下滿足了客戶測量和校準的要求，提高了客戶產品的質量（liàng）和檢測效率，取得了不錯的市場反響。

測量時（shí），根據直驅平台移動模式設定（dìng）好SJ6000軟件采集設置。測量時實時顯示測量誤差，完（wán）成後即時生成測（cè）量報告。報告顯（xiǎn）示設備的定位（wèi）精度在100nm內，反向差值在40nm內。

SJ6000激光幹涉儀采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光（guāng）雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量（liàng）幹涉光路設計、高（gāo）精度激光幹涉信號處理係統、高性能計算機控製係（xì）統技術，實現各種參數的高精度測量。