現代激光幹涉技術是在人類關（guān）於光學的幾乎全部知（zhī）識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比（bǐ），具有（yǒu）一些（xiē）獨特的性質：單色性好、相幹（gàn）性好（hǎo）、方向性強、亮度高。激光幹涉（shè）儀是以激光波長為已知（zhī）長度，利用邁克爾（ěr）遜幹涉係統測（cè）量位移的通用長度測量，廣泛應（yīng）用於各領域，已經成為人類（lèi）認知世（shì）界的重要工具。

1604年開普勒（J．Kepler）寫出光學著作，指（zhǐ）出光的強度和到達（dá）光源距離的（de）平方成反比（bǐ）。並（bìng）於1611年出版《折射光學》。

1801年托馬斯•楊（Thomas Young）用（yòng）雙狹縫實驗演示了光的幹涉現（xiàn）象，即著名的楊氏雙縫實驗。

1881年邁克爾遜（Albert．A．Michelson）設計了著（zhe）名的實驗來測量“以太”漂移。當然沒測到漂移，由此導致“以太”說的破滅和相對論的誕（dàn）生。它（tā）首次用於幹涉儀，以鎘紅譜線與國際米原器作對比。正是由於他的工（gōng）作導致後來用光的波長定義“米”。由於他在精密光（guāng）學（xué）儀（yí）器、光譜和計量（liàng）領域的研究工作於1907年獲得諾貝爾獎。

1960年Maiman研製成功第一台紅寶石激光器，從（cóng）此開始了光學技術飛（fēi）速（sù）發（fā）展的新時代。從此，激光幹涉測量被（bèi）廣（guǎng）泛地用於長度、角度、微觀形貌、轉速、光譜等領域，並和微電子技術、計算機技術集成，成為現代幹涉儀。

1982年G．Binning和H．Rohrer研（yán）製成（chéng）功掃（sǎo）描隧道顯微鏡，1986年發明原子（zǐ）力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎（jiǎng）。從此開始了幹涉儀向納米、亞納米分辨率和（hé）精度前進的新時（shí）代。

由於激光具（jù）有極好的時間相（xiàng）幹性，自（zì）問世以來，已研製出多種激光幹（gàn）涉儀：單頻激光幹涉儀、雙頻激光幹涉儀（yí）、半導體激（jī）光幹涉儀、法布裏-珀羅（luó）（F-P）幹涉儀、X射線幹（gàn）涉儀等。

激光幹（gàn）涉儀是激光在計（jì）量（liàng）領域（yù）中最成功的應（yīng）用（yòng）之一。利用光的幹涉實現測量，具有非（fēi）接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到廣泛的應用。

中圖儀器近期推（tuī）出的 SJ6000激光幹涉儀（yí） 采用進口高（gāo）穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補（bǔ）償技術、高速數字信（xìn）號處理係統等技術，通過與不（bú）同的光學組件結（jié）合，實現對線性、角度、直線度、垂直度、平麵度等（děng）幾何量的檢測。線性測長精度（dù）：±0.5ppm，激光穩頻（pín）精度：0.05ppm。